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最終更新日:2014/02/01

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  • 精密塗布装置 Hydra2010MP
最大8インチウエハ、もしくは□200mmの基板に対応
【Hydra2010MP】は、静電式を用いることにより材料の無駄がなく、多機能化する材料にも最適に塗布することが可能な装置。塗布材料に静電力を与え塗出させることにより微細粒子が均一な膜を形成する。また、スピンコーターでは困難であった立体構造基板の頂点角部や傾斜部に膜切れなく、ボトム部においてはピンホールなく塗布することを実現した。レジスト、高分子材料、コーティング材、導電材、高粘度材料など幅広い材料に対応。
    　　　　　　　　

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