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(1)基板サイズ：250×290mm〜615×715mm(銅箔含む)
(2)板厚：0.1〜5.0mm
(3)基板層数：20層以下(20層以上はオプションのマイクロフォーカス推奨)
(4)穴あけ精度(振分け、マーク重心)：±10μm
(5)アライメントマーク数：20マーク(標準)