基板ベリファイ装置 VP1000
最終更新日:2017/09/20
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外観検査装置からの欠陥切り出し画像を表示
【VP1000】は、外観検査装置「SXシリーズ」本体からの欠陥切り出し画像を表示する基板ベリファイ装置。側方照明や高角照明など、欠陥種別に自動で照明を切り替えることが可能。共通欠陥機能により、同一ロット内の同じ箇所にn数個以上の同一欠陥がある場合に警報を表示する。
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