マスクレス露光装置 PALET
最終更新日:2022/09/20
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A3サイズの設置面積と低価格を実現
【PALET】は、装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積と低価格を実現したマスクレス露光装置。卓上で手軽に使用でき、フォトリソグラフィに不慣れな人でもパターニングができる分かりやすい操作性を実現。最大露光エリア：□25mm、最小露光線幅：3μm。手動ステージモデルと電動ステージモデルを用意。半導体・センサ等の試作に効率化に貢献し、少量多品種のフォトリソグラフィーに最適。
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