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神港精機(株)
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〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/

SWP高密度プラズマ装置

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • SWP高密度プラズマ装置
大面積基板の高速エッチング・アッシング・クリーニング処理が可能
本装置は、石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行う事から、表面波プラズマ(SWP)と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事ができる。この表面波プラズマ技術により、大面積プラズマの形成が可能となり、大面積基板の高速エッチング・アッシング・クリーニング処理が可能となった。
    　　　　　　　　

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