SWP高密度プラズマ装置
最終更新日:2014/02/01
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大面積基板の高速エッチング・アッシング・クリーニング処理が可能
本装置は、石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行う事から、表面波プラズマ(SWP)と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事ができる。この表面波プラズマ技術により、大面積プラズマの形成が可能となり、大面積基板の高速エッチング・アッシング・クリーニング処理が可能となった。
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