酸素分析装置 O836Si
最終更新日:2022/05/18
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シリコンウエハー専用
【O836Si】は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に応えるために開発されたシリコンウェハー専用酸素分析装置。高精度の非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせにより、正確・高精度な酸素分析を可能となる。
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