メタルマスク超音波洗浄装置

本装置は、メタルマスク(レーザーマスク、エッチングマスク、アディティブマスク)の高微細加工、高密度化に対応した真空前処理型の超音波洗浄装置。真空(前処理型)超音波洗浄装置であるMARSシリーズを洗浄用、バリ取り用として製造・販売している同社は、高密度化、高微細加工など厳しい洗浄レベルに対応するため、クラス100のクリーンルームなどの設置環境に対応した、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発。一般的な装置では、洗浄溶剤にそのままどんな超音波を照射してもメタルマスクの洗浄に使用可能な超音波キャビティ(微小真空核群)が発生しないため、メタルマスクの超音波洗浄は困難とされるが、版にダメージを与えることのない、第8世代以上のAPR版の精密洗浄用に開発された50KHzを基本周波として、275KHzまでの多数の超音波周波数を相乗させ、同時発振する広域同時多重波発振の基本周波をPowerSweepさせる独自技術により、無数のキャビティー(微小真空核群)を安定して発生させることに成功した。