オートローダーシステム HLDシリーズ

【HLDシリーズ】は、カセット内側位置決め方式採用により、ポート間ピッチを縮小したオートローダーシステム。補器類をすべて装置内へ内蔵し、直交型基板移載ロボットの採用により、省スペースを実現。また、ロボットハンドにカーボンファイバーを採用し、高速搬送に耐えられる剛性を確保、高速搬送ロボットの採用による搬送時間の短縮を図ったほか、ロボットハンドに非接触アライナーを採用、カセット内でずれた基板もカセットに触れる事なく抜き取りが行え、カセット位置決め部には平面フローティングを採用している。G6サイズまでの大型基板に対応した製品をラインアップ、これらは各種インターロック機能を搭載し、作業者・機械の安全性を考慮している。