ガラス基板搬送ロボット CR-J120TCL
最終更新日:2014/02/01
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自由度高いレイアウトに最適、高機能でローコスト設計
【CR-J120TCL】は、従来の別置き型コントローラをロボット本体に組み込み、大幅な省スペース化を実現したガラス基板搬送ロボット。ラック式走行軸追加で複数の装置を1台のローダでカバーし、高剛性テレスコピック方式Z軸ストローク(750mm、SEMI規格カセットパスライン)1000mmを確保。さらに、2段独立フォークユニットで、装置との取り合いを最適化している。また、ハンド上でのアライメントが可能で、走行中にアライメントを行ない、サイクルタイムの短縮が図れるうえ、全軸ACサーボ、アブソリュートエンコーダ仕様で原点復帰動作は不要。徹底した内製化で、短納期対応が可能。
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