縮小投影型露光装置 Stepper（Step and Repeat Exposure Systems）
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷
硝材の微細化や高精細・高品位など実現
【Stepper（Step and Repeat Exposure Systems）】は、縮小倍率1／2.5倍を実現した縮小投影型露光装置。従来の等倍密着露光から縮小投影露光への移行を図る装置で、硝材などの微細化をはじめ高精細・高品位なパターンを提供する。主な仕様は、解像度：0.8μm以下、露光光源：365nm（i線）、露光範囲：□44mmで、製作可能な寸法・硝材など別途対応。
一緒に閲覧されている製品
縮小投影型露光装置 Stepper（Step and Repeat Exposure Systems）のお問い合わせ
その他製品一覧
電源自動評価システム PW-6000
自動試験・評価システム ペリテ…
精密型プッシュプルテスター MP…
ロードセル変換器 A-160L
リフローチェッカ CTP-300J／U
味認識装置 TS-5000Z
ポータブルトルク計測器 SCHATZ…
微小異物検査装置
ホルムアルデヒド除去塗料 環境…
微小寸法計測装置
デジタル紫外線強度計 UV-2500Ⅲ
ヘリウムリークディテクタ M-23…
Wi-Spyスペクトラム解析ソフト…
TOC連続測定システム ACCURAシ…
デジタル渦流テスタ DEFECTOMET…
携帯型3次元セルフポジションレ…
デジタル動揺計 W0051／W0031A
インライン計測システム
LED検査モジュール FINNシリーズ
