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半導体ウェハ外観検査装置 WF2000

インスペック(株)

最終更新日:2014/01/30

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  • 半導体ウェハ外観検査装置 WF2000
約2μmの欠陥検出を実現
【WF2000】は、独自の高性能画像処理システム(inspec2)を搭載した半導体ウェハ外観検査装置。データ処理速度は62.5MHzと世界最高クラスの水準を達成し、画素分解能は1.2μm／画素ながら6インチウェハの検査を約5分で処理可能。検査の他ベリファイ(確認機能)も標準で搭載し、NG個所を高倍率で拡大表示、欠陥内容の確認が可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
インスペック(株)
住所：
〒 014-0341
仙北市角館町雲然荒屋敷79-1
Web：
http://www.inspec21.com/