ダイレクトドライブモータ τDISC DD-sシリーズ
最終更新日:2014/09/19
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モータ精度と剛性を追求
【τDISC DD-sシリーズ】は、大イナーシャ負荷での安定動作が求められる装置に最適な高剛性型ダイレクトドライブモータ。従来シリーズに比べ、モーメント剛性・アキシャル剛性・ねじり剛性を大幅に向上。イナーシャ比2000倍でも安定動作を実現。繰返し位置決め精度±1arcsec。絶対位置決め精度±10arcsec。回転振れ精度5μm、3μm。定格トルク10～750N･m。FPD製造装置・半導体製造装置・光学関連装置・精密加工装置・測定装置・分析装置などに最適。
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