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フラットパネル用超音波ドライクリーナ VUV-F

最終更新日:2014/02/01

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両面同時クリーニングが可能

【VUV-F】は、エアーバランスが良好なため、対向させて両面クリーニングが可能なフラットパネル用超音波ドライクリーナ。中央でエアーナイフを垂直に吹きつけ、両サイドでバキュームの構造は、基板の厚み変化にもエアー漏れがなく、あらゆる厚みの基板に対応可能。ブロワースペースもコンパクトで安価。

環境保全機器│集塵機/クリーナ│

　　　　　　　　

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