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フラットパネル用超音波ドライクリーナ UVU-F

最終更新日:2014/02/01

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ミクロの限界を越えた防塵性能

【UVU-F】は、ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能なフラットパネル用超音波ドライクリーナ。水・薬液などを使用しないため乾燥工程が必要なく、搭載されている超音波発生装置は永久的に性能劣化しないため、フィルタ清掃、交換以外はメンテナンスフリー。また非接触式のため基板などに損傷を与えない。

環境保全機器│集塵機/クリーナ│

　　　　　　　　

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