マイクロ波加熱装置

本製品は、マグネトロン(出力：750W)、アイソレータ(VSWR：1.15以下／アイソレーション：20dB以上)、方向性結合器、EHチューナー、直線導波管で構成された使用周波数：5.8GHz帯 ISMバンドのマイクロ波加熱装置。核融合用、加速器用製品で培われた技術をもとに開発されたもので、マイクロ波による加熱は外部熱源加熱と異なり、均一な加熱で時間を大幅に短縮できる特性を持ち、化学反応促進加熱、プラズマ生成、ナノ粒子焼結などの用途に高い効果を発揮する。方向性結合器の結合量は−53±1dB(要望により調整可)、方向性：20dB以上、EHチューナーのフランジャ稼動幅：3／4波長以上で、半導体製造装置向け対応のオールアルミ化などにも対応する。