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(1)高速検査:最大3,000PPM
(2)高度な不良検出能力:オリジナル検査アルゴリズム
(3)アプリケーションに対応した専用照明とアルゴリズムの選択
(4)特殊スキャニング手法、高速フィルターによるムダバネ減少
(5)不良サイズとしきい値の判別が容易