Veeco PSP社製 精密表面洗浄処理装置 WaferStorm

【WaferStorm】は、溶剤を使用するユーザーの要求に応じてシステムを構成する精密表面洗浄処理装置。TSV洗浄、メタルリフトオフおよび厚膜除去が代表的な3例となる。従来のウエットベンチのみ、またはスプレーだけの手法よりも低コストで改善された特性を発揮するVeeco固有のImmJETTM技術が基本となっている。処理として、各ウエハはウエットバッファータンクで均一な浸漬時間を保持し、その後実施されるプロセスにより最終ステップに移行。独特の組み合わせによりスプレーの時間と薬液の使用量を最小限にとどめ、ウエハー処理を通して重要なコントロールを行う。スプレー時間の削減により、生産性の向上に寄与する。