巻き取り式スパッタ Roll to Roll Sputter‐R2R300S
最終更新日:2014/02/01
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研究用巻き取り式スパッタ
【Roll to Roll Sputter‐R2R300S】は、4個のスパッタガンを装着できる巻き取り式スパッタで、金属、セラミックスのコーティングができる反応性スパッタリングや、多層薄膜のアップスパッタリングができる。対応するプラスチック基板はPET、PI、PA、PC、ライン速度は0.01-20m／min、基板幅は300mmである。装置のサイズは2,940×2,500×2,400mm。RF、DCスイッチングマルチスパッタであり、高品質でありながら、安価である。制御もPCでできるので操作も容易である。
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