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製品カタログ・資料
- 真空ポンプ対応ユニットVIP
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.4MB本製品は、流量センサの搭載により小型ワークの吸着確認が可能な、半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置のヘッドへの搭載に好適な真空ポンプ対応ユニット。同社最小の高さ:61.3mm、奥行き:56.8mmを実現した超小型でありながら、大流量の真空切替が可能。製品は、真空破壊エア流量調整ニードル付タイプのほか、安価な真空破壊エア流量固定タイプも用意。
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