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ウエハーガード インラインガスフィルター

日本インテグリス合同会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウエハーガード インラインガスフィルター
半導体プロセス用に設計
同社では、プロセス用ガスフィルターにニッケル／SUS316L／PTFEの3種類のメンブレンを用意しており、ガス種・使用条件に合わせてフィルター材質を選択することが可能。ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしている。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
日本インテグリス合同会社
住所：
〒 108-0073
港区三田1-4-28 三田国際ビルヂング
Web：
https://www.entegris.com
TEL：
03-5442-9718