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ウエハーガードインラインガスフィルター

日本インテグリス合同会社

最終更新日:2014/02/01

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半導体プロセス用に設計

同社では、プロセス用ガスフィルターにニッケル／SUS316L／PTFEの3種類のメンブレンを用意しており、ガス種・使用条件に合わせてフィルター材質を選択することが可能。ガス種、流量に合わせて各種ラインアップしている。

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社名：: 日本インテグリス合同会社

住所：: 〒 108-0073
港区三田1-4-28 三田国際ビルヂング

Web：: https://www.entegris.com

TEL：: 03-5442-9718