スパッタリング装置 ！-Miller
最終更新日:2020/03/23
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豊富なオプション設定でさまざまな成膜用途に対応
【！-Miller】は、特に研究機関・大学で活用されているスパッタ装置。装置のフットプリントは1420×1060×H1670mm(参考値)と小さく、リーズナブルな価格にて提供。ロードロック室のあり／なしタイプを選択可能。タッチパネル操作で、レシピ管理、ログ管理、メンテナンスが容易。
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.06MB【！-Miller】は、特に研究機関・大学で活用されているスパッタ装置。装置のフットプリントは1420×1060×H1670mm(参考値)と小さく、リーズナブルな価格にて提供。ロードロック室のあり／なしタイプを選択可能。タッチパネル操作で、レシピ管理、ログ管理、メンテナンスが容易。
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