XRF膜厚測定装置 Kシリーズ

【Kシリーズ】は、さまざまなサンプルを扱う品質管理部門向けに開発され、薄膜測定、元素分析、めっき分析用途として電子部品業界やPCB業界、宝飾品業界など幅広く活用されている膜厚測定装置。X線を用いて、アルミニウムからウランまでを非破壊で元素測定することが可能。クラス最高レベルの305×305mmの測定エリアを備え、高さ：最大222mmまでのパーツに対応。照射するX線をμmオーダーまで収束することで、半導体ウエハの膜厚測定やBGA(Ball Grid Array)、微小はんだバンプなど各種サンプルの測定が行える。