ナノポジショニング ピエゾ1軸ステージ NPS-X-15
最終更新日:2022/04/08
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ステンレススチール製とアルミニウム製を用意
【NPS-X-15A／NPS-X-15B】は、内蔵の静電容量センサによって、15μ／20μの動作範囲全体にわたってサブナノメートルの分解能を実現するナノポジショニング ピエゾ1軸ステージ。独自のフレクシャーガイドがステージ動作を安定させ、動作の歪は5マイクロラジアンが抑制。専用コントローラの制御により、ミリ秒の高速駆動・収束が可能。「NPS-X-15A」はステンレススチール製、「NPS-X-15B」はアルミニウム製。共振周波数：3500Hz(ステンレススチール製・荷重なしの場合)、線形性エラー：0.005％。AFM／MRヘッド／干渉計など、生産性が重視される用途に最適。
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