ナノポジショニング ピエゾXYステージ NPS-XY-100D
最終更新日:2022/04/08
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コストパフォーマンスが高いアルミを筐体に採用
【NPS-XY-100D】は、独自のフレクシャーガイドと静電容量センサを搭載し、優れた性能を有するナノポジショニング ピエゾXYステージ。筐体は、コストパフォーマンスが高いアルミ製。有限要素法を用いて開発したフレクシャーガイドは100μの動作範囲全体にわたって、ステージ動作時のピッチとヨーを25マイクロラジアンに抑制。線形性エラー：＜0.005％。電子顕微鏡(AFM／SPM)に最適。
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