ALICAT社製 マスフローメーター MSシリーズ(腐食性ガス／冷媒ガス)

製品カタログ・資料

ALICAT マスフローメーター『Mシリーズ』(日本語)

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1MB『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。