ALICAT社製 真空用マスフローコントローラー MCV／MCVSシリーズ

製品カタログ・資料

ALICAT マスフローコントローラー『MCシリーズ』(日本語)

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.03MB『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS/MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」 などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。