ALICAT社製 SEMI規格マスフローコントローラーMCE／MCESシリーズ

製品カタログ・資料

ALICAT (アリキャット)マスフローコントローラー『MCE/MCVシリーズ』(SEMI規格対応/真空用)(英語)

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1MB『MCE/MCESシリーズ(SEMI規格)』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 『MCV/MCVSシリーズ(真空用)』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。