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超高解像度画像検査装置 ZIO-7002
最終更新日:2014/01/31
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同時取り込み、同時演算により高速処理
【ZIO-7002】は、マルチラインセンサカメラによる超高解像度（横14,800×縦14,800）を実現した画像検査装置。検査はタクト5秒、スキャンタイム3.7秒と、同時取り込み、同時演算による高速処理を実現。3万個以上のスルーホールをガーバーデータと比較検査。セラミックパッケージ製造工程やメタルマスクの検査等に有用。
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