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UV LED露光装置 UV-KUB

ビーム(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • UV LED露光装置 UV-KUB
コンパクト、低価格、クリーンルーム不要
【UV-KUB】は、幅260×奥行き260×高さ260mm(8.2kg)とコンパクトながら強照度露光が可能な装置。10,000時間以上と長寿命なLEDを使用、コールドUV露光にて、線幅10nm以下の単色全面露光を行い、また、リアルタイムでの温度コントロールが可能。タッチパネル操作、およびウォーミングアップ時間不要で使い易い。主な仕様は、
(1)露光方式:コンタクト、プロキシミティ
(2)ウエハサイズ:4インチ
(3)解像度:2μm
(4)露光波長:365nm±5nm/385nm±5nm
(5)照度:25mW/cm2±10%(4インチウエハ)
(6)分離中の加熱:<1℃
(7)サイクル記録回数:10

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企業基本情報

社名:
ビーム(株)
住所:
〒 194-0212
町田市小山町2225-8 まちだテクノパークセンタービル6F
Web:
http://www.beams-inc.jp/