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(1)露光方式:コンタクト、プロキシミティ
(2)ウエハサイズ:4インチ
(3)解像度:2μm
(4)露光波長:365nm±5nm/385nm±5nm
(5)照度:25mW/cm2±10%(4インチウエハ)
(6)分離中の加熱:<1℃
(7)サイクル記録回数:10