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(1)露光方式：コンタクト、プロキシミティ
(2)ウエハサイズ：4インチ
(3)解像度：2μm
(4)露光波長：365nm±5nm／385nm±5nm
(5)照度：25mW／cm2±10％(4インチウエハ)
(6)分離中の加熱：<1℃
(7)サイクル記録回数：10