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UV LED露光装置 UV-KUB

ビーム(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • UV LED露光装置 UV-KUB
コンパクト、低価格、クリーンルーム不要
【UV-KUB】は、幅260×奥行き260×高さ260mm(8.2kg)とコンパクトながら強照度露光が可能な装置。10,000時間以上と長寿命なLEDを使用、コールドUV露光にて、線幅10nm以下の単色全面露光を行い、また、リアルタイムでの温度コントロールが可能。タッチパネル操作、およびウォーミングアップ時間不要で使い易い。主な仕様は、
(1)露光方式：コンタクト、プロキシミティ
(2)ウエハサイズ：4インチ
(3)解像度：2μm
(4)露光波長：365nm±5nm／385nm±5nm
(5)照度：25mW／cm2±10％(4インチウエハ)
(6)分離中の加熱：<1℃
(7)サイクル記録回数：10
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
ビーム(株)
住所：
〒 194-0212
町田市小山町2225-8　まちだテクノパークセンタービル6Ｆ
Web：
http://www.beams-inc.jp/