ラボ向け多用途ターボスパッタコーター Q300TD
最終更新日:2021/12/08
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卓上型、高真空仕様で多種ターゲットに対応
【Q300TD】は、ラボ向け卓上型マグネトロンスパッタ装置。真空を保持したまま2種類の異なるターゲットを最大5層まで連続して成膜可能。タッチスクリーンによる簡単操作で、真空引きから成膜、排気までの全行程を自動で行う。TMP内蔵の高真空仕様により、多種ターゲットに対応。膜厚計(オプション)による膜圧制御コーティング機能搭載。SEMなどの試料前処理(帯電防止)、実験レベルでの電極の作成など多目的に利用できる。
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