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サファイア基板表面欠陥検査装置

最終更新日:2015/10/06

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サファイア基板表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

本製品は、サファイア基板表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示を行うサファイア基板表面欠陥検査装置。1カセット(25枚)を約35分で検査することができる。

試験・検査装置│表面形状検査装置│

　　　　　　　　

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