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Web：
http://www.osc-japan.com/
TEL：
0358331332

非接触3D表面形状測定装置 μシリーズ

(株)オプティカルソリューションズ

最終更新日:2014/01/31

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  • 非接触3D表面形状測定装置 μシリーズ
微細な形状の高精度な測定に最適
【μシリーズ】は、金属製品から半導体まで幅広い測定物に対応した非接触3D表面形状測定装置。コンフォーカル顕微鏡式／レーザーフォーカス／レーザー共焦点／コスノコピー同軸干渉方式の各センサユニットで構成。コンフォーカル顕微鏡式の測定装置は、白色光源とNipkowディスクを用い、微細な形状の高精度な測定に最適。
    　　　　　　　　

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