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大口径表面形状測定器

(株)清原光学

最終更新日:2017/03/22

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  • 大口径表面形状測定器
測定時間はわずか10μsec
【大口径表面形状測定器】は、大口径の表面形状を超高速測定（測定時間 10μsec）ができる製品。振動の影響を受けにくいため、簡単な除振機構で作動。空気の揺らぎを気にせず計測でき、3または6バケット設定が可能。大口径で位相シフト機構を装備。干渉方式はフィゾー型位相シフトレーザー干渉計。光源は635nmレーザーを使用。
    　　　　　　　　

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