超精密平面度測定装置 SF-640M
最終更新日:2016/12/15
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平面とエッジの高精度な評価が可能
【SF-640M】は、独自の超精密加工技術による高精度エアスライド、リニアモータ、サーボモータ・ボールねじの採用により、世界最高クラスの平面度測定が行える装置。精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発。「見えない世界を見える世界へ」をコンセプトとし、接触式測定子または非接触式レーザー(オプション)にてワーク表面をスキャンすることで、ワーク全体を豊富なユーザーインターフェースにて表示可能。測定ワークの材質は金属のみならずガラス、セラミックス、各種ウエハなど。最大測定ワークサイズ：650×450mm、40kgまで。総合測定精度：0.6μm、繰り返し精度：0.1μm、表示分解能：0.01μm。
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- 超精密平面度測定装置 SF-640M
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.51MB【SF-640M】は、独自の超精密加工技術による高精度エアスライド、リニアモータ、サーボモータ・ボールねじの採用により、世界最高クラスの平面度測定が行える装置。精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発。「見えない世界を見える世界へ」をコンセプトとし、接触式測定子または非接触式レーザー(オプション)にてワーク表面をスキャンすることで、ワーク全体を豊富なユーザーインターフェースにて表示可能。
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