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レーザ走査方式表面形状検査機 Imaging Scope

株式会社　コアシステム

最終更新日:2014/01/31

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  • レーザ走査方式表面形状検査機 Imaging Scope
半導体ウエハの鏡面などを非接触検査
【Imaging Scope】は、0.1nmの高感度で非接触検査が可能なレーザ走査方式表面形状検査機。生産工場内で1ライン0.52msec／30mmの高速測定によりインライン使用でき、30×30mmの大面積測定を実現。振動に強く徐振台は不要で、微細異物検出機能を装備。半導体ウエハ、HDなどの鏡面、金属・高分子材料のスパッタ表面などに対応。
    　　　　　　　　

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