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高速3D表面粗さ測定器 Zeta-200
最終更新日:2014/02/01
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プログラム化が可能なマルチサイト計測
【Zeta-200】は、他部位の測定および広範囲の3Dイメージングを作成し、ウエハーの工程変化の評価を行うことが可能な測定器。大量のデータを収集し、製造工程の信頼性を得るために柔軟に対応。PSSバンプパターン、太陽電池、MEMSなど多くのデータを自動測定することにより、オペレータによるエラーを削減し、作業時間の短縮が図れる。また、データ収集の品質を測定量を改善するだけでなく、オペレータの生産性向上に貢献する。200×200mm自動稼働X・Yステージ搭載、5x、10x、20x、50x、100x、150x対物レンズを用意。
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