ファイル形式：pdf ファイルサイズ：5.1MB【精密ステージシリーズ CHX】は、予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置した超薄型アライメントステージ。 【製品の特長】 ●超薄型 予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。 ●トップテーブルの小型化 トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。 ●中抜き構造の設定可能 トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です(特殊対応)。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用できます。 ●結線作業の簡略化 モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
＜ マルチモーションアクチュエータ リニアモータシリーズ CCR ＞
直動(CCM)と回転(RLT)が独立制御可能
【CCR】は、位置検出システムを内蔵したコンパクトな設計により、装置の小型化・高タクト化が可能なマルチモーションアクチュエータ。幅14mm〜、高さ46.8mm〜、最小サイズで約200g。直動：クラスタリニアモータ(CCM)と回転：ボールスプライン軸モータ(RLT)を単独で使用することが可能。また、可動軸が中空シャフトのため、エア流路として使用できる。さらにFLモード(オプション)により押し付け力を制御しながら、同時に速度や位置を簡単に制御可能。また、I／O接点入力のみで駆動可能であり、簡易な構成によってシステムを実現できる。
＜複列円筒ころ形カムフォロア NUCF-AB形 ＞
両方向からの取付けおよび給脂が可能で、効率良く作業できる
【NUCF-AB形】は、円筒ころを複列に組み込んでおり、高いラジアル荷重を負荷できるカムフォロア。欧州で一般的に使用されている複列円筒ころタイプであり、単列ころの従来品と寸法互換しているため、置き換えが可能。また、グリースニップルが両側に取り付いているため、箱から出してすぐに使用できるうえ、両方向からの取付けおよび給脂が行え、取付けスペースを気にせずに取付けおよびメンテナンスが可能のため、作業効率向上に貢献する。
【製品の特長】
●超薄型
予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。
●トップテーブルの小型化
トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。
●中抜き構造の設定可能
トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です(特殊対応)。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用できます。
●結線作業の簡略化
モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。