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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX

ＴＨＫ株式会社

最終更新日:2018/08/17

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  • 電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ(特許取得済み)
【精密ステージシリーズ CMX】は、ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスLMガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現。
    　　　　　　　　
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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：9.92MBベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現しました。 【製品の特長】 ●大型ワークに対応 トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。 ●超薄形・軽量 XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。 ●中抜き構造 トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。 ●高剛性・高精度 モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

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