膜厚測定装置 F20
最終更新日:2018/09/15
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分光反射率から膜厚・光学定数を測定
【F20】は、反射率分光法とカーブフィッティング法を組み合わせた光学式非接触膜厚測定装置。操作は極めて簡単で、瞬時にソフトウェアに測定結果が表示され、測定者にとってストレスのないスピーディーな測定を実現。筐体はとても軽くてコンパクトで移動も容易、設置場所を選ばない。3nm～250μmの広範囲な膜厚測定に対応。
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