自動膜厚マッピングシステム F50
最終更新日:2018/09/15
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膜厚マッピングをスピーディーに測定
【F50】は、自動かつ高速で膜厚の測定を行い、膜厚ムラを視覚的に表現できるシステム。測定したい箇所を座標で簡単に指示でき、データ管理も容易。膜厚マッピングをスピーディーに行える。操作は極めて簡単で、瞬時に膜厚を測定することが可能。3nm～250μmの広範囲な膜厚測定に対応。
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