3Dオプティカルプロファイラー Profilm3D
最終更新日:2018/09/15
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非接触で0.1nmの表面形状を測定
【Profilm3D】は、光干渉方式の特長を生かした高性能な非接触3次元表面形状粗さ測定システム。PSI方式(位相シフト干渉方式)による縦方向の測定分解能は「0.1nm」と超高分解能。非接触・広範囲・高分解能・高精度・短時間計測を実現。
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