シリコンウエハアナライザー WA 2560

【WA 2560】は、そのままガスクロマトグラフに導入できるオンラインシステムを採用したシリコンウエハアナライザー。シリコンウエハ表面から加熱脱離した有機汚染物質の捕集のみを行うオフラインシステムを採用した「WA 2560M」もラインアップ。WA 2560Mでサンプリングを行なった後に、サンプルチューブをWA 2560Mから取り外し、加熱脱離装置に取り付けて測定を行う。従来機の「SWA 256M」新機能を追加し、より高性能な装置としてリニューアルしている。700ºCの高温までシリコンウエハの加熱が可能。石英チャンバーと不活性なラインによる、サンプルの吸着と分解の低減を実現。パージガスエコモード搭を載。パージガス選択機能を追加。
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