医療・産業向け高精度マスフローコントローラー SFC6000
最終更新日:2023/07/03
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小型・軽量のため、デバイスのサイズと重量を最適化
【SFC6000】は、優れた価格性能比を実現した次世代のマスフローコントローラー。非常に小型かつ軽量で、デバイスのサイズと重量の最適化が可能。再現性、精度、制御範囲、速度において優れたパフォーマンスを発揮する。また集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢。熱質量測定の原理をベースに、同社のCMOSens MEMS技術を採用したクラス最高の性能と応答速度を備えている。市場に流通する他のデバイスとは異なり、ドリフトせず、サービスの再調整も不要。分析機器、半導体用途およびプロセスオートメーションに最適。
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