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非接触厚み測定センサ CHRocodile IT-DW
最終更新日:2018/11/06
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ドープウエハ用厚みに対応
【CHRocodile IT-DW】は、p-dopeウエハを測定できる非接触厚み測定センサ。干渉方式にて毎秒4000サンプリングで測定、焦点スポット径は13μm。光源にはSLDを使用し、測定レンジは28〜1428μm(n＝3.7：7〜390μm、n＝1.78：15〜800μm)をカバーしている。インタフェースは、USB、RS422、RS232、アナログ(2チャネル)に対応。アプリケーションとしては、Si、GaAs、SiC、サファイアなど半導体のウエハ関連をはじめ、フィルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池などの厚み測定。
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