分光干渉式ウエハ厚み計 SF-3
最終更新日:2019/01/25
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光学式により非接触・非破壊での厚み測定が可能
【SF-3】は、光の干渉(分光干渉法)の採用により、レーザー干渉方式に比べ高い測定再現性を実現したウエハ厚み計。非接触・非破壊で計測が行えるためウエハに傷をつけることがなく、ウエハまでの測定距離に依存しない測定方式により200mmと長いWD（ワークティスタンス）を実現。機器への組込みが容易で、組込み機器に応じて自由にWDの選択も可能。また、保護フィルム・窓材など中間層越しの計測も可能であり、独自の解析アルゴリズム（特許取得済み）の採用で、測定タクト時間は解析処理を含めて10msecを実現しており、リアルタイムの計測が行える。オプションで、厚み分布を自動でマッピング可能。外部トリガ入力機能を備えており、装置との同期測定も可能なインライン用途でも使用できる。
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