高精度非接触厚さ測定装置 OZUMA22
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷
厚さや反りを0.1μmの精度で測定
【OZUMA22】は、厚さおよび反り(オプション)を非接触で測定できる装置。表示分解能は0.1μm、同一ポイントの10回繰り返し測定精度は0.3μm以下。主な測定対象ワークは、シリコンウエハ、化合物系ウエハ、ガラス基板、液晶パネル、ハードディスクなど。厚さは数10μmから20mm程度。非接触であるため、ワークに傷をつけず、コンタミもない。さらにエアー背圧方式のため、水濡れ状態のワークも測定でき、ワークの表面状態(膜の有無、膜の種類、表面色など)に依存せずに正確な測定が行え、鏡面状態や研磨面も測定できる。また、校正ゲージ(ワークに近い厚さのゲージ)で校正をしてワークを測定するだけと操作は簡単。熟練の必要がなく、だれでも簡単に高精度な計測を行なえる。
一緒に閲覧されている製品
高精度非接触厚さ測定装置 OZUMA22のお問い合わせ
その他製品一覧
電磁膜厚計 LE−200J
膜厚計 BB20
デュアルタイプ膜厚計 LZ−200J
ワイヤレスデュアルタイプ膜厚…
プローブ一体型膜厚計 SAMAC-FN…
カールドイチェ製超音波厚さ計…
電磁式／渦電流式膜厚計 SWT900…
カールドイチェ社製ポケット膜…
超音波厚さ計 CMX DL+ Ver.2
非接触光学式段差計 Profilm3D(…
超音波厚さ計 CTSシリーズ
非接触型 粉体塗装膜厚計
X線厚さ計 XT-3000
超音波厚さ計・音速計 ECHOMETE…
非接触式形状／厚み測定センサ …
過電流膜厚計 LH−200J
無放射・非接触厚み計 ELTIM USM
電磁・渦電流式膜厚計 PosiTect…
簡易膜厚計 POsiTest DFT
非接触形状／厚み測定センサ CH…
