光学センサ CHRocodile 2 IT
最終更新日:2014/03/11
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70kHzの高速サンプリング
【CHRocodile 2 IT】は、光源にSLDを使用し、干渉方式により70kHzの高速サンプリングを実現した光学センサ。焦点スポット径：13μm、分解能：最大1nm(n=1)、インターフェース：Ethernet／RS422／アナログ(2ch)。測定レンジが9〜1200μm(n=3.7)／19〜2500μm(n=1.78)の「IT500」と、15〜2000μm(n=3.7)／34〜4200μm(n=1.78)の「IT1000」の2モデルをラインアップ。Si・GaAs・SiC・サファイアなどの半導体ウエハ厚み測定やフィルム・樹脂・ガラス・液晶ギャップセル・太陽電池などの厚み測定に最適。
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