コントローラ一体型広帯域真空計 CC-10(フランジ：NW25)
最終更新日:2019/02/20
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1台で大気圧〜高真空の広帯域計測が可能
【CC-10(フランジ：NW25)】は、クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組合わせ、広帯域の計測を1台でカバーできる複合型真空計。切替え操作をせずに大気圧から高真空まで計測でき、取付け寸法の省スペース化が可能。大気圧〜低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読取ることで真空計測を実行、一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化して圧力を測定する仕組みで、ホットカソードゲージと異なりフィラメントを持たず堅牢性に優れ、精度・再現性の高い計測を実現。
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