高多層対応、精度・反りの問題を一挙に解決
【LIH-200】は、最大40層まで対応可能な熱圧着機。新開発の加熱方式による短時間温度上昇と層間熱ムラ軽減で、高多層基板の積層工程の効率化を実現した。主な特長は、
(1)一次積層体(仮圧着)でマスラミ工法に移行
(2)X線でコアの裏・表ずれを補正、後検査可能
(3)薄板ワークの移動は安定したテーブル固定方式
主な仕様は、
(1)アラインメント:X線アラインメント
(2)搬送方式:テーブル固定移動
(3)ワークサイズ:320×320〜610×510mm
(4)ワーク厚:60〜150μm
(5)圧着精度:±15μm
(6)タクト:40秒/6層(加熱時間+機械タクト)
(1)一次積層体(仮圧着)でマスラミ工法に移行
(2)X線でコアの裏・表ずれを補正、後検査可能
(3)薄板ワークの移動は安定したテーブル固定方式
主な仕様は、
(1)アラインメント:X線アラインメント
(2)搬送方式:テーブル固定移動
(3)ワークサイズ:320×320〜610×510mm
(4)ワーク厚:60〜150μm
(5)圧着精度:±15μm
(6)タクト:40秒/6層(加熱時間+機械タクト)