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株式会社大興製作所
住所：
〒 601-8207
京都市南区久世中久町676
Web：
http://www.daico.co.jp/

シリコン基板ホルダ

株式会社大興製作所

最終更新日:2024/05/12

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  • シリコン基板ホルダ
結晶成長や、光学薄膜実験に最適
本製品は、4インチのシリコンウェハにザグリ加工を施し、実験用の基板を載せることができる特性を持った基板ホルダ。サイズ：シリコンウェハベースφ100×0.525mm、ザグリ部10.5×10.5×深さ0.3mm。プラズマエッチング装置やイオンエッチング装置、各種実験などにおいて、基板を載せた状態で4インチのシリコンウェハとして扱うことができる。
    　　　　　　　　

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